要怎么做才有意义
Defect 有关
最近遇到的问题是要怎么画Defect Map,并且画出来才是准确的、兼容性高的
1、Klarf File格式,国产化迅速导致klarf File各种各样,但还是绕不开KLA那一套规范
版本:目前最常见的Klarf File版本总共有:Klarf 1.1、klarf 1.2、klarf1.7、klarf1.8
样式:Klarf File我理解应该算xml范式的变种,其中1.1、1.2、1.7这三个版本非常接近,都是按行书写,分号结尾换行,特殊字符结尾;1.8版本就更接近xml格式了,它是以一组组花括号把信息分类模块化写出来
2、Klarf File提炼,很多互联网厂商都在尝试做良率分析工具,那就绕不开klarf file解读,这个时候,要考虑怎么做到高兼容、数据正确
Wafer 大小,这个在klarf File中有明确定义,依据klarf file就能确认,不需要借助外来配置数据
dice大小
wafer朝向
正反面确认
坐标系确认
removed dice跟Inspection dice确认
Image确认
CP等测试有关
1、坐标系
2、Dice Index
3、Dice Size
4、Test Program
5、Test Result