要怎么做才有意义

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Defect 有关

最近遇到的问题是要怎么画Defect Map,并且画出来才是准确的、兼容性高的

1、Klarf File格式,国产化迅速导致klarf File各种各样,但还是绕不开KLA那一套规范

  • 版本:目前最常见的Klarf File版本总共有:Klarf 1.1、klarf 1.2、klarf1.7、klarf1.8

  • 样式:Klarf File我理解应该算xml范式的变种,其中1.1、1.2、1.7这三个版本非常接近,都是按行书写,分号结尾换行,特殊字符结尾;1.8版本就更接近xml格式了,它是以一组组花括号把信息分类模块化写出来

2、Klarf File提炼,很多互联网厂商都在尝试做良率分析工具,那就绕不开klarf file解读,这个时候,要考虑怎么做到高兼容、数据正确

  • Wafer 大小,这个在klarf File中有明确定义,依据klarf file就能确认,不需要借助外来配置数据

  • dice大小

  • wafer朝向

  • 正反面确认

  • 坐标系确认

  • removed dice跟Inspection dice确认

  • Image确认

CP等测试有关

1、坐标系

2、Dice Index

3、Dice Size

4、Test Program

5、Test Result