Defect 有关

最近遇到的问题是要怎么画Defect Map，并且画出来才是准确的、兼容性高的

1、Klarf File格式，国产化迅速导致klarf File各种各样，但还是绕不开KLA那一套规范

• 版本：目前最常见的Klarf File版本总共有：Klarf 1.1、klarf 1.2、klarf1.7、klarf1.8

• 样式：Klarf File我理解应该算xml范式的变种，其中1.1、1.2、1.7这三个版本非常接近，都是按行书写，分号结尾换行，特殊字符结尾；1.8版本就更接近xml格式了，它是以一组组花括号把信息分类模块化写出来

2、Klarf File提炼，很多互联网厂商都在尝试做良率分析工具，那就绕不开klarf file解读，这个时候，要考虑怎么做到高兼容、数据正确

• Wafer 大小，这个在klarf File中有明确定义，依据klarf file就能确认，不需要借助外来配置数据

• dice大小

• wafer朝向

• 正反面确认

• 坐标系确认

• removed dice跟Inspection dice确认

• Image确认

CP等测试有关

1、坐标系

2、Dice Index

3、Dice Size

4、Test Program

5、Test Result